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SEM掃描電鏡樣品測試的優(yōu)點(diǎn)

日期:2023-12-04 13:27:42 瀏覽次數(shù):37

掃描電鏡對樣品微區(qū)結(jié)構(gòu)的觀察和分析具有簡單、易行等特點(diǎn) ,是目前應(yīng)用得*為廣泛的一種試樣表征方式,它相比于光學(xué)顯微鏡和透射電鏡有其特有的優(yōu)勢。

掃描電鏡.jpg

1、景深長,視野大

SEM掃描電鏡物鏡使用小孔視角和長焦距因而景深較大。 相同放大倍數(shù)時(shí)掃描電鏡景深比透射電鏡大且比光學(xué)顯微鏡大很多。 SEM掃描電鏡中二次電子的產(chǎn)生量和電于束入射角度在試樣表面上的漲落有一定關(guān)系,因此,掃描電鏡成像立體感較強(qiáng),可以用來觀察試樣三維立體結(jié)構(gòu)。

2、樣品制備

簡單SEM掃描電鏡的樣品室較大,可觀察大到200毫米,高為幾十毫米的樣品。掃描電鏡的樣品制備相比透射電鏡而言要簡單得多 ,樣品可以是斷口,塊體,粉體等。對于導(dǎo)電的樣品只要大小合適即可直接觀察,對于不導(dǎo)電的樣品需在樣品表面噴鍍一層導(dǎo)電膜( 通常為金、鉑或碳)后進(jìn)行觀察。現(xiàn)代發(fā)展起來的低壓SEM掃描電鏡和環(huán)境掃描電鏡可以對不導(dǎo)電樣品,生物樣品等進(jìn)行直接觀察,極大地?cái)U(kuò)展了掃描電鏡的應(yīng)用范圍。

3、分辨本領(lǐng)高,倍率連續(xù)可調(diào)

SEM掃描電鏡具有很高的分辨率 ,普通掃描電鏡的分辨率為幾納米,場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達(dá)1nm ,已十分接近透射電鏡的水平。光學(xué)顯微鏡只能在低倍率下使用,而透射電鏡只能在高倍率下使用,SEM掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),彌補(bǔ)了從光學(xué)顯微鏡到透射電鏡觀察的一個(gè)很大的跨度,實(shí)現(xiàn)了對樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。

4、綜合分析能力強(qiáng)

掃描電鏡可以對樣品進(jìn)行旋轉(zhuǎn),傾斜等操作,能對樣品的各個(gè)部位進(jìn)行觀察 。此外,SEM掃描電鏡可以安裝不同的檢測器(如能譜儀(EDS),波譜儀(WDS)以及電子背散射衍射(EBSD)等)來接收不同的信號,以便對樣品微區(qū)的成分和晶體取向等特性進(jìn)行表征。此外,還能在掃描電鏡中配置相應(yīng)附件,對樣品進(jìn)行加熱,冷卻,拉伸等操作并對該動(dòng)態(tài)過程中發(fā)生的變化進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。

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