掃描電鏡是一種多功能的工具，在大部分時(shí)候，無(wú)需什么樣品制備，即可提供各種樣品的納米級(jí)信息。而在某些情況下，為了獲得更好的SEM掃描電鏡圖像，掃描電鏡有必要結(jié)合噴金儀(離子濺射儀)使用。

SEM掃描電鏡噴金的意義

掃描電鏡噴金幾乎可以對(duì)所有類(lèi)型的樣本進(jìn)行圖像處理Q，陶瓷、金屬、合金、半導(dǎo)體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類(lèi)型的樣品更具有挑戰(zhàn)性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助SEM掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射—個(gè)額外的導(dǎo)電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。

哪種樣品需要濺射噴金

1、電子束敏感樣品。這類(lèi)樣品主要是生物樣品，但也可能是其他種類(lèi)，例如塑料材料。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是由電子束敏感的材料制成，那么，這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。在這種情況下，用一種非電子束敏感材料制成的表面鍍層就可以起到保護(hù)層作用，防止此類(lèi)損傷。

2、非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹牟牧?。?duì)于不導(dǎo)電、導(dǎo)電差或者是磁性的樣品，掃描成像是通過(guò)detecter獲得二次電子和背散射電子的信號(hào)。如果樣品不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓茫瑫?huì)造成樣品表面多余電子或游離粒子的累積不能及時(shí)導(dǎo)走，一定程度后會(huì)反復(fù)出現(xiàn)充電、放電現(xiàn)象，影響電子信號(hào)的傳遞，造成圖像扭曲、變形或晃動(dòng)等現(xiàn)象。噴金后樣品表面導(dǎo)電性增強(qiáng)，可以避免積電效應(yīng)，樣品表面噴金后，只是在其表面覆蓋了幾個(gè)到十幾個(gè)金原子層，厚度只有幾個(gè)納米到十幾個(gè)納米而已，對(duì)于看形貌來(lái)說(shuō)，幾乎是沒(méi)有影響的。

SEM掃描電鏡濺射噴金的缺點(diǎn)

1、濺射噴金有一個(gè)更重要的缺點(diǎn):噴金后表面不再是原始材料，元素的襯度信息會(huì)發(fā)生丟失。

2、在某些不好的情況下，它可能會(huì)導(dǎo)致表面形貌失真或呈現(xiàn)樣品的虛假成分信息。

雖然濺射噴金存在一定的缺點(diǎn)，但是在大多數(shù)情況下，只要選擇合理的噴金參數(shù)，操作者既能夠獲得高質(zhì)量的成像，又不會(huì)損失樣品的原始信息。