掃描電鏡并非通過直接觀測來獲得樣品信息，而是通過發(fā)射電子束對樣品進行激發(fā)，并利用背散射或二次電子探測器對被觀測物體的成分和形貌進行分析。要獲得準(zhǔn)確的結(jié)果，測試樣品要符合一定的要求。以下是SEM掃描電鏡對測試樣品的要求：

1、形貌形態(tài)，要耐高真空

掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來成像的?？諝獾拇嬖跁沟碾娮邮冃?，影響掃描效果，所以被測樣品比較能耐高真空。

2、樣品表面不能含有有機油脂類污染物

油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?，對真空環(huán)境造成很大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w；碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量；碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬鸷艽笙笊?；碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面，降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

3、樣品要是干燥的

水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā)，從而很大降低燈絲壽命；水蒸氣會散射電子束，增加電子束能量分散，從而增加大的色差，降低分辨能力。

4、樣品表面可以導(dǎo)電

樣品表面要可以導(dǎo)電，如果不能導(dǎo)電，則要鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下，初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和，因此多余的電子要導(dǎo)入地下，即樣品表面電位要保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電，或者樣品接地線斷裂，那么樣品表面靜電荷存在，使得表面負(fù)電勢不斷增加，出現(xiàn)充電效應(yīng)，使圖像畸變，入射電子束減速，此時樣品如同一個電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品，建議采用離子濺射鍍膜機噴鍍金屬，這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

5、特殊樣品制備的考慮因素

SEM掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料，如果一定要觀測此類物質(zhì)，則建議對材料首先進行退磁。如果要檢測觀察弱反差機理，就要消除強反差機理（例如，形貌反差），否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差（EBSD），I和II型磁反差或其他弱反差機理時，磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光，電解拋光等，以使樣品產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。

在測試前，要確保樣品符合上述要求，以獲得準(zhǔn)確的測試結(jié)果。