SEM 掃描電鏡不同類型樣品制備方法的介紹：

塊狀樣品

① 小塊體樣品直接固定在碳導(dǎo)電膠帶上

② 塊體較大或需要高分辨觀測(cè)的樣片，一般在碳導(dǎo)電膠帶上固定后再在其四周刷碳膠或銀膠，使固定更加牢靠，不易發(fā)生漂移

③ 樣品表面固定碳膠帶連接到樣品臺(tái)上，輔助固定，增加導(dǎo)電性

粉末樣品

① 首要原則是粉量少

粉量過多的危害：

① 對(duì)儀器：表面浮粉易污染樣品室、鏡筒、甚至堵塞光闌

② 對(duì)操作者：表面浮粉并未直接接觸導(dǎo)電膠帶，在電子束的作用下有可能引起樣品的移動(dòng)且極易荷電，難以獲取高質(zhì)量圖片，對(duì)觀測(cè)和分析都帶來影響

粉末樣品-常規(guī)粉體

① 固定導(dǎo)電膠帶，用牙簽挑出少量粉體，將粉體彈到導(dǎo)電膠帶上，用洗耳球/壓縮空氣吹掉浮粉，適量粉體

② 切勿將膠帶直接按壓在粉體中或用藥匙取大量粉體按壓在膠帶上

粉末樣品-小顆粒或易團(tuán)聚粉體

① 用稀釋溶劑對(duì)粉體進(jìn)行稀釋，一般為水、無(wú)水乙醇等

② 進(jìn)行超聲，時(shí)間一般為5-10min，視樣品而定

③ 超聲結(jié)束后立即取用，避免再團(tuán)聚

④ 將稀釋液滴在硅片或鋁/錫箔紙上

⑤ 將樣品放置于干燥箱或紅外烤燈下烘干即可

截面樣品-拋光

① 固定方式：樹脂鑲嵌法&金屬夾板法

② 拋光方式：砂紙研磨&金剛石細(xì)拋&離子束精拋