掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。SEM掃描電鏡還具有很多優(yōu)越的性能，是用途z為廣泛的一種儀器。

掃描電鏡觀察納米材料

所謂納米材料，是指材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面清潔的條件下，通過壓制形成的固體材料納米材料具有許多不同于晶態(tài)和非晶態(tài)的物理和化學(xué)性質(zhì)納米材料具有廣闊的發(fā)展前景，將成為未來材料研究的重點(diǎn)SEM掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)是分辨率高現(xiàn)在它被廣泛用于觀察納米材料。

掃描電鏡觀察材料斷口

SEM掃描電鏡的另一個(gè)重要特點(diǎn)是景深大，圖像立體掃描電鏡的透射電鏡是光學(xué)顯微鏡的10倍由于圖像景深較大，獲得的掃描電子圖像具有三維感強(qiáng)、形狀三維等特點(diǎn)，比其他顯微鏡能提供更多的信息，對(duì)用戶有很大的價(jià)值SEM掃描電鏡所表明斷裂形態(tài)從深層和高景深的角度反映了材料斷裂的性質(zhì)，在教學(xué)科研和生產(chǎn)中具有不可替代的作用，是材料斷裂原因分析、事故原因分析、工藝合理性確定等方面的有力工具。

掃描電鏡觀察大試樣的原始表面

掃描電子顯微鏡可以直接觀察直徑為100毫米、高度為50毫米或更大尺寸的樣品，不受樣品形狀的限制，也可以觀察到粗糙的表面，避免了樣品制備的麻煩并能真實(shí)觀察樣品本身不同物質(zhì)成分的對(duì)比度(背反射電子圖像)。

SEM掃描電鏡觀察厚試樣

掃描電鏡可以獲得高分辨率和z真實(shí)的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間，但在比較厚樣品的觀察時(shí)，由于透射電子顯微鏡也采用層壓法，層壓的分辨率通常只有10nm，而且觀察的不是樣品本身。因此，用SEM掃描電鏡觀察厚樣品，獲得樣品的真實(shí)表面數(shù)據(jù)更為有利。

由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，SEM掃描電鏡越來越受到研究者的重視，得到了廣泛的應(yīng)用目前，掃描電鏡已廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學(xué)、醫(yī)藥、半導(dǎo)體材料及器件、地質(zhì)勘探、病蟲害防治、災(zāi)害(火災(zāi)、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定等領(lǐng)域工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定和生產(chǎn)過程控制等。