隨著對(duì)微納米技術(shù)的研究和材料分析的需要，掃描電鏡在科研領(lǐng)域越來(lái)越重要，是光學(xué)顯微鏡無(wú)法比擬的。那么今天我們就給大家來(lái)講述下sem掃描電鏡的發(fā)展歷史。

電子顯微鏡通常可分為掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡兩類，是材料微觀分析的重要工具之一，被廣泛應(yīng)用于材料、化工、醫(yī)學(xué)、生物等各個(gè)領(lǐng)域。

電鏡的發(fā)展歷史

1924年：波粒二相性理論的提出

法國(guó)物理學(xué)家德布羅意指出：一切接近于光速運(yùn)動(dòng)的粒子均具有波的性質(zhì)。人們由此聯(lián)想是否可利用波長(zhǎng)更短的電子波代替可見(jiàn)光成像？

1926年：磁透鏡聚焦理論的提出

德國(guó)學(xué)者 H. Busch 提出了運(yùn)動(dòng)電子在磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)理論。他指出：具有軸對(duì)稱的磁場(chǎng)對(duì)電子束具有聚焦作用。這為電子顯微鏡的發(fā)明提供了重要的理論依據(jù)。

1931年：**個(gè)電子圖像的獲得

德國(guó)學(xué)者Knoll和Ruska頭次獲得了放大12倍銅網(wǎng)的電子圖像。證明可用電子束和磁透鏡進(jìn)行成像。

1931-1934年：**臺(tái)透射電鏡的誕生

1939年研制成功世界上**臺(tái)商品透射電鏡，分辨率優(yōu)于 100埃；1954年進(jìn)一步研制成功Elmiskop I型透射電鏡，分辨率優(yōu)于10埃。

1939年：**臺(tái)商品透射電鏡的問(wèn)世

德國(guó)學(xué)者魯斯卡等研制成功世界上**臺(tái)透射電子顯微鏡，至1934年其分辨率達(dá)到了500 埃。魯斯卡因?yàn)樵陔婄R光學(xué)基礎(chǔ)研究及以上貢獻(xiàn)獲得了1986年諾貝爾物理獎(jiǎng)。

1935年：頭次提出掃描電鏡概念。

在透射電鏡的基礎(chǔ)上, 1935年德國(guó)學(xué)者諾爾頭次提出了sem掃描電鏡的概念，1952年劍橋大學(xué)Oatley等制作了出掃描電鏡。

1965年：**臺(tái)商品掃描電鏡

1965年劍橋大學(xué)推出**臺(tái)商品sem掃描電鏡。目前其發(fā)展方向是場(chǎng)發(fā)射型高分辨掃描電鏡和環(huán)境掃描電鏡。